近日,湖南省工信廳發(fā)布了2024年度第一批“湖南省省級(jí)工業(yè)新產(chǎn)品”名單,金嶺機(jī)床自主研制的JL-CMP56 超精密半導(dǎo)體智能研磨拋光機(jī)被認(rèn)定為“湖南省省級(jí)工業(yè)新產(chǎn)品”,進(jìn)一步展現(xiàn)了公司在超精密設(shè)備領(lǐng)域的創(chuàng)新實(shí)力。
△2024年度第一批“湖南省省級(jí)工業(yè)新產(chǎn)品”名單
據(jù)了解,“湖南省省級(jí)工業(yè)新產(chǎn)品”是湖南省工業(yè)和信息化廳為大力實(shí)施“三高四新”戰(zhàn)略定位和使命任務(wù),強(qiáng)化企業(yè)技術(shù)創(chuàng)新,鼓勵(lì)和支持企業(yè)新產(chǎn)品開發(fā)和應(yīng)用,培育發(fā)展新動(dòng)能所設(shè)立的項(xiàng)目。
本次認(rèn)定的新產(chǎn)品是金嶺機(jī)床自主研發(fā)的超精密半導(dǎo)體智能研磨拋光機(jī),其各項(xiàng)性能指標(biāo)達(dá)到行業(yè)水平??蛇m用于半導(dǎo)體材料、光學(xué)材料、藍(lán)寶石材料、陶瓷材料、硅、鍺等材料多片式或大片式晶圓的研磨和拋光。
JL-CMP56 超精密半導(dǎo)體智能研磨拋光機(jī)
01 功能特點(diǎn)
1.設(shè)備機(jī)身采用鑄件床身,四軸四工位設(shè)計(jì),濕式拋光工藝;
2.采用標(biāo)準(zhǔn)四軸機(jī)床數(shù)控系統(tǒng)和面板,確保加工晶圓的精度;
3.精密下盤和壓力盤具有冷卻水循環(huán)系統(tǒng),控制拋光時(shí)的盤面溫度,保證拋光質(zhì)量;
4.每組打磨主軸配置獨(dú)立的RTCP功能,能方便快捷地實(shí)現(xiàn)對(duì)拋光加工時(shí)的參數(shù)監(jiān)控與控制;
5.通過(guò)更換不同的耗材磨料,能同時(shí)去除材料紋刀紋、并且具備拋光、精拋光功能于一體;
6.電氣、氣動(dòng)元件采用國(guó)際品牌,如SEW減速機(jī)、SMC&CKD氣缸、三菱PLC、三菱伺服電機(jī)、三菱觸摸屏等,噪音小,控制穩(wěn)定。
02 性能指標(biāo)
1.加工模式:四工件同時(shí)加工;
2.控制系統(tǒng):四軸聯(lián)動(dòng)數(shù)字控制系統(tǒng);
3.運(yùn)動(dòng)組件:四軸伺服(X.Y.Z.A*4);
4.絕緣強(qiáng)度:1KV,50HZ;
5.設(shè)備潤(rùn)滑方式:系統(tǒng)自動(dòng)潤(rùn)滑。
03 技術(shù)參數(shù)
04 應(yīng)用案例
金嶺機(jī)床為東旭集團(tuán)超薄柔性電子玻璃生產(chǎn)線(我國(guó)首條UTG產(chǎn)線)提供的“四軸精密拋光機(jī)上下料機(jī)器人工作站”,是金嶺機(jī)床科技創(chuàng)新的又一杰出成果。該工作站具有高效、精準(zhǔn)、穩(wěn)定等特性,能夠大幅提升生產(chǎn)效率,降低運(yùn)營(yíng)成本,幫助企業(yè)實(shí)現(xiàn)數(shù)字化轉(zhuǎn)型和智能化升級(jí)。
用自己的設(shè)備 創(chuàng)制造業(yè)奇跡
金嶺機(jī)床深耕高硬脆材料和高性能研磨拋光材料領(lǐng)域多年,已經(jīng)形成一批擁有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)、國(guó)際國(guó)內(nèi)有名品牌、較高附加值和市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)力的創(chuàng)新型產(chǎn)品。尤其在第三代半導(dǎo)體晶圓研磨拋光應(yīng)用領(lǐng)域,已取得多項(xiàng)關(guān)鍵性技術(shù)突破,部分產(chǎn)品已處于國(guó)際地位。
作為國(guó)內(nèi)出色的數(shù)控切削機(jī)床和新能源智能裝備系統(tǒng)解決方案提供商,金嶺機(jī)床自成立以來(lái),堅(jiān)持產(chǎn)品創(chuàng)新,著力于實(shí)現(xiàn)關(guān)鍵技術(shù)國(guó)產(chǎn)化、工藝優(yōu)化、生產(chǎn)智能化,公司產(chǎn)品自主可控化率達(dá)到85%以上,有效實(shí)現(xiàn)了關(guān)鍵裝備國(guó)產(chǎn)化。
目前,金嶺機(jī)床已經(jīng)擁有自主研發(fā)的五軸聯(lián)動(dòng)數(shù)控機(jī)床、關(guān)鍵功能部件、高檔專用數(shù)控系統(tǒng)三大類產(chǎn)品和柔性自動(dòng)化產(chǎn)線系統(tǒng),產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于汽車、航空航天、精密電子、碳素材料、軌導(dǎo)交通、工程機(jī)械、職業(yè)院校等重點(diǎn)領(lǐng)域。真正做到了“用自己的設(shè)備,創(chuàng)制造業(yè)奇跡”。
此次入選湖南省省級(jí)工業(yè)新產(chǎn)品名單,再次充分證明金嶺機(jī)床在技術(shù)創(chuàng)新開發(fā)方面的優(yōu)勢(shì)。未來(lái),公司將繼續(xù)立足于國(guó)家所需、行業(yè)所趨,堅(jiān)持以技術(shù)創(chuàng)新為本,專注裝備產(chǎn)業(yè)的發(fā)展,緊跟行業(yè)發(fā)展和客戶需求,不斷推動(dòng)國(guó)產(chǎn)裝備發(fā)展取得新突破,指引設(shè)備迭代升級(jí)和系統(tǒng)能力提升,以更加專業(yè)的產(chǎn)品推動(dòng)中國(guó)制造業(yè)健康發(fā)展,為打造國(guó)家重要先進(jìn)制造業(yè)高地貢獻(xiàn)更多“金嶺力量”。